Friedrich Karl Berger kom till USA 1959. Han bodde i delstaten Tennessee med tyskt medborgarskap.
I mars förra året beslutade en amerikansk domare att han skulle deporteras. Under den rättegångsförhandlingen medgav Berger att han förhindrat fångar att fly från lägret i Meppen i norra Tyskland, nära den nederländska gränsen.
Domaren Rebecca Holt underströk att fångarna i Meppen hölls under avskyvärda förhållanden, med tvångsarbete till döden. Berger visste att fångar behandlats illa och att en del hade dött. Men han sade sig bara ha lytt order.
På lördagen anlände han till Frankfurts flygplats. Polisen förhörde honom omgående, men han greps inte. Skälet är att han inte längre är anklagad för brott i Tyskland.
Tyska åklagare lade ned utredningen mot Berger i december i fjol på grund av otillräcklig bevisning. Men om han är villig att diskutera anklagelserna kan fallet väckas till liv igen.
På senare år har annars flera åldriga nazister ställts inför rätta, som ett sista ryck för att hinna skapa viss rättvisa för de miljoner människor som gick under i lägren.
Tidigare i månaden åtalades en 100-årig tysk man för medhjälp till 3 518 mord i koncentrationslägret Sachsenhausen.